| 扫描隧道显微镜的探针位置控制机构 |
| JP2003280674 2003-7-28 发明申请 |
| 2005-2-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个小的和廉价的一个扫描隧道显微镜的探针位置控制机构能够直接观察的样品。溶液 : 所述所述扫描隧道显微镜的探针位置控制机构2具有一基板5，一种探针附着部分10附着到所述基板5和保持一个探头11，和夹持腿25不小于三个附着以所述基板5和保持所述基板5和所述探针安装部分10。所述夹持腿25被提供与它们的周边上具有小间距精细地调整螺钉分别。所述夹持腿25被可旋转地插入在螺杆螺母安装到所述基板5和提供与所述与所述小间距精细地调整螺钉。步进电机21被不低于三个分别连接到夹持腿部分，和所述夹持腿25通过该步进电机21分别被旋转。 |
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