| 扫描探针显微镜 |
| JP2003281533 2003-7-29 发明申请 |
| 2005-2-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其允许容易使用，即使在极端条件。溶液 : 从一激光二极管31的光被引导和所述的表面上照射一个悬臂1由一个光纤32。所述通过一透镜33照射光被聚焦，以该悬臂1所述的表面上被照射。通过该悬臂1所述的表面所反射的光通过透镜411和412被聚焦到被输入到光纤421和422。所述的光通通过该光纤维421和422是由光电二极管431和432接收到的。在所述接收的光的量基于所述变化，该悬臂1是检测所述的倾斜。 |
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