| 一种微光显微镜系统及其工作方法 |
| CN202310758391.2 2023-6-26 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明属于半导体器件检测领域，具体涉及一种微光显微镜系统及其工作方法，其中，微光显微镜系统包括：箱体，减震台、探针台、光学系统、电源系统及计算机控制系统，减震台固定于箱体内侧的底部，探针台设置于减震台的上方，用于固定和移动待测件，光学系统设置于探针台的上方，用于与计算控制系统相互配合，以定位所述待测件的失效点位置，电源系统设置于箱体外并通过导线与探针台电性连接，用于对待测件进行供电，计算机控制系统设置于箱体外并通过导线与探针台、光学系统及电源系统电性连接，用于控制电源系统对待测件的供电模式。本发明的微光显微镜系统无需手动切换待测件的供电模式，能够提高对待测件失效点进行定位检测的效率。 |
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