| 红外共焦扫描型显微镜和测量方法。 |
| JP2003166751 2003-6-11 发明申请 |
| 2005-2-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个红外共焦扫描型显微镜与一样品，其中所述的内部结构含硅材料可以被观察到具有高对比度。溶液 : 所述红外共焦扫描型显微镜100包括一光源部110的其发射一束红外光，两个三维扫描机构114，其与所述光束二维地扫描红外的光，一物镜透镜122，其红外线光的汇聚光束到样品180内形成一个光点，一物镜透镜移动机构124，其移动所述物镜透镜122沿光学轴，Z比例126，其测量所述的移动所述物镜透镜122，和PBS112，其将所述反射的红外光束的光从该样品180在协作与一波长波板120。此外，所述红外共焦扫描型显微镜100包括一聚光透镜128会聚的所述分开的光束反射红外线的光，和一个光检测器130检测该反射红外线的光从所述聚光透镜128。所述光电检测器130包括一个光接收表面，它是在共焦位置关系与关于该光斑和被足够大以功能作为一种微型开口。 |
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