| 特定图案的扫描探针显微镜检测的方法 |
| JP2003200678 2003-7-23 发明申请 |
| 2005-2-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够检测一特定的图案即使在一种情况下使多个所述相同的图案是设置在一个样品和对应的甚至到所述检测的一个特定图案的形状不具有两个正交的边缘，例如，一圆形底部孔的形状或该等。溶液 : 所述特定图案的所述的表面上形成所述样品是通过检测所述扫描探针显微镜配备与探头部分，一个用于精细地调整所述位置精细调整机构的一探针，一个粗调整机构，用于允许所述探头移动，与相对于该样品的方法和退避和一个测量部分，用于测量所述所述探针和样品之间产生的物理量。当所述区域，其中图案被设置循环，所述的表面的所述样品是通过测量该测量部分由允许所述探针以扫描通过所述微调机构或所述粗调整机构，扫描被执行在一个第一节距，直到所述图形被找到后在第二间距或扫描被执行所述图形被找到以该图案和所述特定图案的测量所述区域是检测从多个所述图案的所述区域中。 |
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