| 光偏转器和使用该相同的扫描光学显微镜 |
| JP2003200454 2003-7-23 发明申请 |
| 2005-2-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个光偏转器和一个扫描中使用该光偏转器的光学显微镜，其一个高的速度扫描通过共振和一个低速度驱动的扫描在其一个较低的速度区域和一个任意频率被选择的是实现与一个单光偏转器和各种有用的显微动作被实现。溶液 : 第一的可动构件12是由一固定支承构件11通过第一支撑部件13a和13b; 和第二可动构件16具有一个反射镜17是由第一支撑的可动构件12通过第二支撑部件18a和18b，其是在所述的相同的轴19为其第一支撑部件13a和13b，其第一和第一中的驱动状态可动构件12和第二可动构件16在一个相同的振荡其相位和第二中的驱动状态第一的可动构件12和所述第二可动构件16中振荡，一反相存在。 |
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