| 产生线状光束的装置及激光显微镜 |
| US10683272 2003-10-14 发明申请 |
| 2005-2-17 |
| 本发明提供一种制造成本低，结构紧凑的激光显微镜。 利用微镜装置将从半导体激光器发出的激光束转换成在一个方向上具有发散的直线光束。 微镜装置包括多个以二维阵列排列的微镜，每个微镜通过驱动脉冲高速振动。 因为每个微镜由铰链可移动地支撑，所以微镜的镜层通过由驱动脉冲引起的静电吸引力以弯曲的方式移位。 通过反射镜层的弯曲位移，每个微反射镜用作柱面反射镜，以将入射激光束转换成沿一个方向发散的非相干光束。 将直线光束通过光束偏转装置和物镜投射到样品上，并使来自样品的反射光入射到线性图像传感器上。 本发明的微镜装置成本相对较低，发散角相对较大，可以实现制造成本低，结构紧凑的激光显微镜。 |
微信公众号