| 附带的光显微镜autofocussing装置，特别是用于晶片检查中使用，具有一激光照射的点状照明的屏幕和一与测量检测装置的屏幕和一个检测器 |
| DE10334161 2003-7-26 发明申请 |
| 2005-2-10 |
| autofocussing装置，用于附带在其中点状照明光显微镜屏幕(1)与激光照射的光被上成像的对象(7)通过一个物镜(6)。所述屏幕是也成像在一个检测器(9)通过一种测量屏幕装置(8)。该图像被确定的最大强度的所述位置使用所述检测器和与一个对应的位置到所述聚焦位置相比。所述两个位置之间的差值是用于自动改变图像放大倍数对象和图像平面之间使用一个辅助光学装置(4)。 |
微信公众号