| 基于扫描探针显微镜的电介质高分辨陷阱成像方法及系统 |
| CN202310544793.2 2023-5-15 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明公开了一种基于扫描探针显微镜的电介质高空间分辨陷阱成像方法及系统，方法包括：记录撤去电压后样品表面形貌图像序列和表面电势图像序列；根据表面形貌图像序列校对图像偏移，并从校对后的表面电势图像序列中提取得到各像素点的表面电势衰减数据；根据各像素点的表面电势衰减数据，通过拟合、计算确定各像素点的陷阱分布信息；根据所有像素点的陷阱分布信息，对应各像素点的原位置形成与薄膜表面形貌对应的深、浅陷阱能级峰值图像和/或深、浅陷阱密度峰值图像。本方法在纳米尺度实现样品的陷阱特性的直接成像，具有空间分辨率高、可直观对比等优点。 |
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