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扫描显微镜

WOEP04051606 2004-7-26 发明申请

2005-2-3

本发明涉及一种扫描显微镜有一光源，定义一个照明光束和一个频谱检测器用于检测所检测的光，来自所述样品，其限定了一个检测束和其包含一光谱分路器组件。所述扫描显微镜是，其特征在于，所述光谱分光组件将所述的照明和所检测的光束。