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电性扫描探针显微镜装置

TW092119918 2003-7-22 发明申请

2005-2-1

本发明提供一种电性扫描探针显微镜装置。上述显微镜装置包括一原子力显微镜装置，利用长波长雷射光源做为表面成像架构以取得一表面形貌影像，以及一电性扫描侦测感测装置，以取得同步对应表面形貌影像之二维电性影像。