| 一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统 |
| CN202311074818.3 2023-8-25 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明提出了一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，属于光学成像领域。解决传统激光扫描显微镜结构复杂、成本高、扫描速度慢且成像质量差的问题。它包括光纤激光器；空间光准直器，用于接受光纤激光器的光束后整形为平行光束并出射第一光路，第一光路上顺次间隔布置扩束组件、分光器和反射镜，物镜出射光线照射到样品上散射后沿第二光路逆向返回经分光器反射后、由第三透镜聚焦到CCD上多束衍射组件用于使第二光路产生多个衍射光束；计算机，与CCD电性连接；多束衍射组件包括沿第二光路顺次间隔布置且栅线互相垂直的第一柔性光栅和第二柔性光栅，第一柔性光栅和第二柔性光栅的周期均可均匀改变。它主要用于样品扫描。 |
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