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用于固定光栅扫描探针显微镜的测量探针的装置

US10490441 2004-9-21 发明申请

2005-1-27

一种用于扫描探针显微镜的探针安装装置。本发明涉及一种用于扫描探针显微镜，尤其是扫描力显微镜的探针安装装置(207)，其包括用于安装在扫描探针显微镜的测量组件中的保持构件(200)。探针(207)借助于夹紧构件(201)可拆卸地安装在保持构件(200)上，夹紧构件以自锁方式固定到保持构件(200)。