| 用于nanoscanning电子显微镜改进的尖端 |
| WOUS04021736 2004-7-7 发明申请 |
| 2005-1-27 |
| 一个用于产生一个电子束装置，包括一支撑结构; 一微型超高真空腔室包括一超导单壁金属型碳纳米管由一圆柱形壁的，一种近端设置在和密封到所述支撑结构，和一远端包括一个电子透明的结构; 电子束发射尖端包括一第二碳纳米管嵌入在所述支撑结构和设置在所述超导单壁金属型碳纳米管，第二碳纳米管具有一个内表面与一薄的导电涂层设置随即; 和装置，用于创建一个电的电位差所述电子束发射尖端和所述圆柱形壁的所述超导碳纳米管。本发明还提供一种扫描电子显微镜包括一个包围点源的电子束发生器内设置一圆锥形的锥形外壳具有一近端和一远端，该通信中的近端通过其中的一个开口与一真空管，和所述远端包括一锥形吸量管尖端目标开口。 |
微信公众号