| 具有增强电子云作用的扫描探针及扫描隧道显微镜 |
| CN200410014818.5 2004-4-29 发明申请 |
| 2005-1-26 |
| 本发明涉及扫描隧道显微镜的结构改进,特别涉 及其扫描探针的结构改进。所述场增强扫描探针,是在现有扫 描隧道显微镜扫描探针的外表面设有两层镀层,与探针表面直 接接触层是绝缘镀层,外层为贵重金属镀层,在该贵重金属镀 层上设置连有导线的电极。该电极的引出导线与超净控制电压 源场增强偏压输出端口接通,超净控制电压源中的场增强偏压 放大模块是通用的高压放大模块,此高压放大模块与计算机 DA卡相应端口接通。所述扫描隧道显微镜扫描探针的接入电 压为1~2V的正偏压,贵重金属镀层的接入电压为50~300V 正偏压。本发明在现有的扫描隧道显微镜扫描探针上增设场增 强层,增强被测样品表面电子云的分布,从而使扫描隧道显微 镜能用以观测半导体、非导体材料。 |