| 光的照明装置,特别是用于照明一被检查物体使用一种双共焦扫描显微镜,具有一个附加的光学所述波长分量的部件,用于空间和时间分类 |
| DE10330402 2003-7-4 发明申请 |
| 2005-1-20 |
| 用于一个对象的照明光学装置(1),特别是在结合有一种双共焦扫描显微镜(2)具有一激光光源(4)产生一个照明光束(3)和一个检测器(6),其检测一检测光束(5)。一种光学部件(9)用于分离所述的照明光的光束分成两个(7,8)和结合所述检测光光束到一个单束。一种进一步的光学部件(22)被提供用于空间和时间排序所述的波长分量的所述激光光源。 |