| 原子力显微镜及其探针组件 |
| CN202310589602.4 2023-5-24 发明申请 |
| 2023-9-15 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜的探针组件，包括形成有探针孔的探针基座以及设置在探针孔中的扫描探针，所述扫描探针包括悬臂梁，所述悬臂梁的第一端连接到探针孔的侧壁上，第二端与探针孔的侧壁之间具有间隙；所述悬臂梁的下表面临近于第一端的位置设置有压力传感器，所述悬臂梁的下表面临近于第二端的位置依次叠层连接有压电陶瓷层和探针针尖；所述压力传感器用于将悬臂梁的形变机械力转换为相应的电信号并输出，以反馈探针针尖与待测样品之间的相互作用力。本发明中使用压力传感器将形变机械力转换为电信号，来反馈调节探针针尖的高度位置，避免了已有技术中在将多个探针集成阵列时光杠杆的反馈信号相互干扰的问题。 |
微信公众号