| 共焦显微镜 |
| JP2003181603 2003-6-25 发明申请 |
| 2005-1-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一个共焦显微镜可选择的扫描高的速度和低的速度。溶液 : 一激光束从激光束源1被收集在样品9通过一个物镜8，并且，在所述相同的时间，所述激光束被允许向该样品9的装置上扫描两维第一的电磁镜4和第二电磁镜6，其具有振动轴垂直于每个其它。在所述振动轴42的第一第一电磁镜4之间的电磁镜4和第二电磁镜6，一种微反射镜单元5，其被允许在一规定的谐振频率振动，通过使一衬底的所述的振动中心被设置。 |
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