| 扫描探针显微镜及使用该显微镜的测量方法 |
| US10893364 2004-7-19 发明申请 |
| 2005-1-20 |
| 一种扫描探针显微镜，具有悬臂和测量部分，悬臂具有面对样品的探针，测量部分用于测量当探针扫描样品的表面时在探针和样品之间出现的物理量，保持物理量恒定以测量样品的表面。 上述显微镜还具有 : 探针倾斜机构，光学显微镜等，用于在探针倾斜时检测探针的位置；以及控制部，用于将探针设置为第一倾斜姿势和第二倾斜姿势，通过测量部在每个倾斜姿势下测量样品的表面，通过光学显微镜等至少在第二倾斜姿势下检测探针的位置，并使第二倾斜姿势下的测量位置与第一倾斜姿势下的测量位置相匹配以进行测量。 |
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