| 检测器用于一种扫描电子显微镜和扫描电子显微镜系统与一个对应的检测器系统 |
| WOEP04006715 2004-6-22 发明申请 |
| 2005-1-20 |
| 本发明涉及一种检测器系统，用于所述的一种扫描电子显微镜的样品室，由的装置，其信号传输中被同时检测到，对应到一个光场的对比度和一暗场对比度。所述检测器系统(14)包括四个检测器(15-18)在一个平面(25)，其中一个孔(19)之间的用于无电子的访问是位于。后面所述孔(19)，进一步检测器(27)被设置在一第二平面(26)。所述检测器是优选的是二极管。所述检测器(15，16，17，18)在第一平面(25)，它是最接近所述样品，用来产生信号，对应到一暗场对比度。所述进一步检测器(27)，更远离所述样品，检测信号对应于一个光场的对比度。大的死空间，它是不敏感的电子，所述二极管和围绕所述孔(19)之间，可以避免了，通过四个二极管的所述偏移装置(15，16，17，18)在第一平面(25)。 |
微信公众号