| 移动台装置和扫描探针显微镜 |
| JP2003175826 2003-6-20 发明申请 |
| 2005-1-13 |
| 要解决的问题 : 以实现更准确的运动在XY方向，所述一个级的精细调整在Z-方向和所述振动方向中运动通过所述Z-方向中还加入所述位移到所述压电使用的元件，一个惯性运动阶段装置中。溶液 : 所述移动台装置是配备有一底座11，第一的驱动体具有一压电扫描器和连接到所述底座，上板27，第二的驱动体具有一压电扫描器和连接到所述上板，第一之间的移动体保持在第一和第二的驱动体和一种装置用于施加第一力到所述上板，在一种状态与所述驱动体侧的所述基座和所述驱动本体侧的所述上板彼此面对，以移动所述相同的朝向所述基座。在该移动台装置，当所按压的方向第一移动体第一的驱动体通过第二驱动体被设置在所述Z-方向，电压被施加到所述的压电扫描器第一和第二的驱动体，以允许第一移动体，以在所述XYZ方向自由移动。 |
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