| 扫描探针显微镜 |
| JP2003175827 2003-6-20 发明申请 |
| 2005-1-13 |
| 要解决的问题 : 以代替一探针，同时保持一种真空中的一个扫描探针显微镜配备有一扫描电子显微镜或该等。溶液 : 所述扫描探针显微镜，用于检测原子间力或隧道电流作用在一探针7和一个样品3，是配备有一样品的观察室13提供一个气密状态中，一个样品台2在其该样品被放置，所述带电粒子束照射装置安装基本上面所述样品级，所述探针-保持装置安装在所述样品级和保持所述探针的附近，在一可拆卸的方式自由地和所述探针-替换装置; 安装面对所述探针-保持装置，以保持所述样品级。进一步，所述探针是通过所述所述样品级之间的间隙和更换所述带电粒子束照射装置; 而所述样品的观察室是保持气密状态，使用该探针更换装置。根据这种结构，该探针7可以被替换，而真空是通过进给出所述探针保持通过该扫描电子显微镜所述之间的间隙6和所述样品级2，使用一磁铁加载器20或该等，和所述操作效率或所述的样品室是增强清洗性能。 |
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