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一种测量样品上材料宽度的方法及扫描电子显微镜

US10911480 2004-8-5 发明申请

2005-1-13

一种宽度测量方法，用于减小或消除由束径尺寸引起的样品上物体宽度的测量误差，其中，基于从其上具有待测宽度物体的样品发射的二次粒子获得的二次信号获得的待测宽度物体的宽度测量值用相对于束径尺寸值的值来校正。