| 扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法 |
| CN200410016561.7 2004-2-26 发明申请 |
| 2005-1-5 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜中的压电执行 器参数标定和非线性校正方法。本发明提出的方法是：(1)扫描 标准光栅样品，获得其SPM图像；(2)利用压电执行器模型参 数标定软件获取压电执行器模型参数，(3)进行非线性在线校正 前的数据转换，(4)在线进行非线性校正。本发明基于标准光栅 样品SPM图像的压电执行器模型参数标定软件，以获得压电 执行器模型参数，进行压电执行器非线性校正，消除SPM图 像特征扭曲，并大为降低SPM产品标定的复杂程度。 |
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