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偏振光束分束器，用于显微镜或投影系统或使用网格阵列具有平行UV光刻形成栅极线通过多层系统与交变非-金属介电层具有不同光学特性。

DE10327963 2003-6-19 发明申请

2005-1-5

所述偏振分束器具有一光学透明的载体衬底(1)平行的栅极线提供与一个阵列(2，3)。通过形成一多层系统，用于接收到的拆分非偏振光束(up)在一给定入射角度成反射和透射偏振光束(TE，TM)。所述单独的层(H，L)的所述多层系统被提供的非-金属介电材料具有不同光学特性与一个交互中另一个。