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一种红外共焦扫描式显微镜及测量方法

US10859850 2004-6-3 发明申请

2004-12-30

一种红外共焦扫描显微镜，包括 : 光源单元，其发射红外光束；物镜，其会聚来自光源单元的红外光束以在样品内部形成光斑；扫描机构，其在垂直于光轴的平面内二维扫描光斑；以及光电检测器。光检测器包括微光接收区域，该微光接收区域相对于光点处于共焦位置关系，并且构成实质上的微开口。