| 用于对象的形状测量方法-开关，用于可变形反射镜和使用该相同的非扫描共焦显微镜 |
| JP2003163223 2003-6-9 发明申请 |
| 2004-12-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一个对象通过切换测量方法，用于移位一可变形反射镜，大大减少测量时间与一种结构简单，和一非扫描共焦显微镜使用所述相同。溶液 : 所述共焦显微镜通过一单色光源测量所述高度所述对象的形状而不扫描在一个轴向方向。三到五种不同的defocuses通过切换产生的所述的形状是一个可变形反射镜7在所述共焦显微镜(系统)，以改变它，和然后所述物体的高度是由共焦的输出强度确定在各自的条件。遗传算法是使用用于所述优化的所述可变形反射镜7的形状，和所述信息熵所述的空间频谱的一个共焦斑形状在纵向方向(方向平行于X-Y表面)作为该索引在所述优化。该位置在所述对象的所述轴向方向(由箭头21表示的方向)可被测量与50μm的误差0.64%在该范围通过使用一系统实际制备的。 |
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