| 显微镜自动聚焦系统使用狭缝光束 |
| KR1020030038893 2003-6-16 发明申请 |
| 2004-12-23 |
| 目的 : 一种显微镜的自动聚焦控制单元被提供到内执行一个自动聚焦控制功能短时间的周期由狭缝光束直接的位移转换到一种探针的距离信息通过使用生成物从一单个图像识别单元获得的。结构 : 一个物镜(11)，一种光学分管(12)，一个变焦透镜具有一变焦电机，一种图像形成透镜(14)，和一个光接收元件阵列(15)被设置所述相同的光学轴线上。一种光源(16)被安装在所述的光学分管的一个侧。狭缝光束发生器(17)被安装在所述物镜的焦距长度。一种驱动传感器(3)是用于用于感测一驱动电机(18)和一移动距离。一种图像\/控制单元(2)包括一个图像接收器(21)用于接收和处理数字信号的所述光接收元件阵列，一个驱动控制器(22)用于控制一个驱动状态一探针的，一种变焦驱动控制器(23)用于控制一变焦电机，一个狭缝光束控制器(24)用于控制所述狭缝光束发生器的强度，和一个同轴照明控制器(25)用于控制同轴照明的强度。kipo2005 |
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