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原子力显微镜的动态激活及其使用方法

US10752235 2004-1-6 发明申请

2004-12-23

一种扫描探针显微镜方法和装置，其使用主动驱动技术来修改成像动力学以优化振幅检测的带宽。偏转优选地通过包括激光器和光电检测器的光学检测系统来测量，该光电检测器通过光束反射技术或另一常规技术来测量悬臂偏转。接着，解调悬臂的所检测的偏转，以给出与悬臂的振荡幅度成比例的信号，此后，该信号被用于驱动悬臂。