| 扫描探针显微镜使用一个表面驱动致动器到位置所述扫描探针针尖 |
| WOUS04018599 2004-6-10 发明申请 |
| 2004-12-23 |
| 一个扫描探针显微镜包括一个静电表面致动器和一个扫描探针针尖。所述的静电表面致动器包括一翻译器和一个定子。该翻译器具有第一电极第一表面上设置。该定子具有第二电极第二表面上设置。该翻译器被弹性地耦合到所述定子，这样第一和第二表面被相对的一个的另一和使所述翻译器是能够与相对于该定子第一中被移位的方向，以第一和第二表面。所述扫描探针针尖被耦合到所述翻译器。第一和第二电极被对准，以响应所施加的电压中产生静电的力对齐，以使该翻译器与相对于该定子第一中的方向，使得所述扫描探针针尖是可控制地定位通过该翻译器的位移。 |
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