| 带容性传感器的用于扫描隧道显微镜的步进电机 |
| CN200320103120.1 2003-11-7 实用新型 |
| 2004-12-22 |
| 本实用新型公开了一种带容性传感器的用于扫 描隧道显微镜的步进电机。该步进电机包括一底座以及一移动 块，该移动块可相对于底座移动。该步进电机还包括一容性定 位传感器，该传感器为至少一个平板型电容器，该至少一个的 平板型电容器的第一极板位于步进电机的底座的上表面，该电 容器的第二极板位于步进电机的移动块的下表面。采用本实用 新型的步进电机可通过测量容性定位传感器的电容值来测量 电机的位移量，并在几毫米的范围内达到纳米尺度的精确定 位。另外本实用新型的步进电机还可以用于薄膜生长，可控地 在纳米尺度移动物体等诸多方面。同时它还具有结构紧凑、适 于在低温下工作的特点。 |
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