| XY扫描器的扫描探针显微镜和驱动所述相同的方法中 |
| KR1020030037510 2003-6-11 发明申请 |
| 2004-12-18 |
| 目的 : 一种扫描探针显微镜的XY扫描器和一XY扫描器驱动所述的方法被提供到消除寄生该扫描器的运动通过移动一个根据所述相同的轴上设置两个驱动器级和以得到用于其图像的正交性是一个大的样品固定在所述的整个区域通过使用所述扫描探针显微镜，构成 : 一个XY扫描装置包括一可动台(9)，至少两个驱动器(21，31，41，51)，一移动位置。传感器，和一个控制器。所述可移动工作台，固定一个样品上的卡盘，其中样品被放置和移动在一起与所述样品卡盘。所述驱动器通过控制信号被操作以移动该可动台施加到其上和位于在与X和Y-轴平行。所述运动位置传感器感测所述移动所述可动台的位置。控制器产生所述控制信号，以将所述控制信号到所述驱动器。所述控制器提供不同的控制信号到所述相同的轴上的驱动器使用该信号输出从所述运动位置传感器，kipo2005 |
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