| 可拆卸探针传感器组件和扫描探针显微镜 |
| US10850932 2004-8-10 发明申请 |
| 2004-12-16 |
| 一种扫描力显微镜系统，其使用激光器(76)和安装在可移除探针照明器组件(22)中的探针组件(24)，所述可移除探针照明器组件(22)安装到扫描机构的移动部分。 探针照明器组件可以从显微镜中移除，以允许所述激光束在移除之后对准悬臂(30)上。 这防止了在探针组件的更换和对准期间对显微镜的损坏并缩短了对准时间。 扫描探针显微镜组件(240)支撑扫描探针显微镜(244)。 扫描探针显微镜(244)保持可移除的探针传感器组件(242)。 可移除的探针传感器组件(242)可被运输并方便地连接到调节站(250)，在调节站(250)中，如果需要，可观察和调节探针传感器组件参数。 探头传感器组件(242)然后可以连接到扫描探头显微镜(244)。 |
微信公众号