| 扫描探针显微镜及其测量方法。 |
| JP2003145846 2003-5-23 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量所述的形状和所述性能的所述通过防止生长样品表面的所述样品表面上的冰在所述样品冷却时间。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一真空容器9具有一窗口14，用于抽空该样品周边，一悬臂1安装在所述真空容器9和所述尖端上具有一个微探针2，一种激光光源16安装在所述外侧真空容器9，用于该悬臂1与一激光15照射通过该窗口14，一个装置17用于检测所述悬臂的位移由所述的反射位置1所述激光，和一装置5用于加热和冷却所述样品，装置8用于移动所述样品和一个冷却面板21提供一激光光路部分上具有一缺口部分，用于冷却所包围的情况下该样品，所述真空容器9中。 |
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