| 紫外线显微镜系统 |
| JP2003147831 2003-5-26 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一个紫外线显微镜防止所述的图像劣化，以被观察到，即使当观察期间被进行自动聚焦。溶液 : 光照射到样品表面10被反射，通过物镜9被再次冷凝，被反射通过观察光\/AF光分支镜8，是通过一个照明光的反射\/图像形成光分支镜7和被引导到一个图像形成的光学系统。在所述图像形成的光学系统，一个光学滤波器11，其具有一高透射率，以该观察光和一低到自动聚焦的光的透射率被设置。所述图像形成光通过所述光学滤波器11中所述样品表面10形成所述的图像所述的成像表面上的一规定的放大率一种成像装置13由一种图像形成透镜的所述操作12。由于所述的自动聚焦的光被减少，是由入射在所述成像装置13通过的所述光学滤波器11，所述的自动聚焦的光被防止从成为一种防止噪声和所观察到的图像是从被退化。 |
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