| 包括针孔阵列分束器的干涉式共焦显微镜 |
| US10765229 2004-1-27 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 一种用于对物体进行干涉测量的共焦干涉测量系统， 所述系统包括定位成接收源光束的针孔阵列， 对于针孔阵列中的每个针孔，将源光束分离成位于针孔阵列一侧的相应参考光束和位于针孔阵列另一侧的相应测量光束； 第一成像系统被配置为将针孔阵列成像到物体上或物体中的光斑阵列上，使得针孔阵列的每个针孔的相应测量光束被引导到光斑阵列的不同的相应光斑，并产生用于测量光斑阵列的相应测量光束。 对相应的返回测量光束进行点亮， 所述第一成像系统还被布置成将所述光斑阵列成像到所述针孔阵列上，使得来自所述光斑阵列的每个光斑的相应返回测量光束被引导回所述针孔阵列中的相应不同针孔， 其中对于每个针孔，针孔阵列组合该针孔的返回测量和参考光束以产生相应的组合光束； 以及检测器组件，包括与针孔阵列对齐的检测器元件阵列，使得每个针孔的相应组合光束指向检测器元件阵列中不同的相应检测器元件。 |
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