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显微镜，特别是用于半导体制造中检查的显微镜

US10875934 2004-6-24 发明申请

2004-12-9

本发明公开了一种显微镜，特别是用于半导体制造中的检查的显微镜。所述显微镜包括用于照明目的，优选在UV范围内的脉冲激光器。在激光器的下游设置至少一个旋转扩散盘，以便使照明均匀。优选地，两个旋转方向相反的旋转扩散盘直接或间接地一个接一个地设置在照明光束路径中。