| 扫描探针显微镜 |
| JP2003138225 2003-5-16 发明申请 |
| 2004-12-2 |
| 要解决的问题 : 以进行稳定地控制用于保持恒定的所述的样品和探针之间的距离一悬臂，即使在该高速扫描时间，在AC模式中的一斜率检测系统。溶液 : 一电压信号，其中所述悬臂的一位移检测信号1从一压电元件4用于检测所述位移是所述的振幅量检测信号的RMS11被输出。一个误差放大器12输出一个所述电压信号和一个参考电压之间的误差信号。所述误差信号被输入分别为两个种的第一和第二低通滤波器18，19与一个可选的增益由增益13。所述误差信号被改变到一个误差信号具有两个种的一个误差信号的时间常数具有小时间常数的第一低通滤波器8和一个误差信号具有一个大的时间常数由第二低通滤波器19。反馈控制在所述Z-方向被改变成控制通过所述电位之间的双反馈控制的所述压电元件4用于检测基于该信号具有小时间常数和控制通过一个Z-压电扫描器6基于该信号具有所述大时间常数，和Z-方向中的反馈控制可以稳定地执行在所述高速扫描时间。 |
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