| 一种用于宽带显微镜的折反射成像系统 |
| US10646073 2003-8-22 发明申请 |
| 2004-12-2 |
| 公开了一种用于检查的系统和方法。 所述设计包括用于与波长在不同范围内的光能一起使用的物镜，所述范围包括大约266-1000nm，157nm到红外，以及其它范围。 所述物镜包括 : 聚焦透镜组，所述聚焦透镜组包括被配置为接收光的至少一个聚焦透镜；场透镜，所述场透镜被定向为接收来自所述聚焦透镜组的聚焦光能并提供中间光能；以及管理镜装置，所述管理镜装置被定位为接收来自所述场透镜的中间光能并形成受控光能。 各聚焦透镜具有减小的直径，例如小于约100mm的直径，以及约0.15mm的最大校正场尺寸。 在将受控光能传递到被检查样品之前，可以使用浸没物质，例如油，水或硅氧烷凝胶。 |
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