| 显微镜和样品观察方法 |
| US10804195 2004-3-19 发明申请 |
| 2004-12-2 |
| 对于作为被观察体的样品的半导体器件S，提供了用于对半导体器件S进行观察的图像获取部分1，以及包括物镜20的光学系统2。 用于放大半导体器件S的图像的固体浸没透镜(SIL)3可在插入位置和离开光轴的备用位置之间移动，在插入位置，固体浸没透镜包括从半导体器件S到物镜20的光轴并且与半导体器件S的表面紧密接触。 然后，在SIL3处于插入位置时，获取包含来自SIL3的反射光的图像，并且SIL3的插入位置由SIL30参考该图像进行调整。 由此，能够容易地进行半导体装置等的微结构分析所需的试样的观察的半导体检查装置(显微镜)，以及使用其的半导体检查方法(试样观察方法)。 |
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