| 流体输送用于扫描探针显微镜 |
| WOUS03028506 2003-9-9 检索报告 |
| 2004-12-2 |
| 所述以下明涉及到所述引入的一种气体(或流体)围绕一个MEMS悬臂(f100)具有一个SPM探头或nanotool(tm)，以控制化学活性，E。g。氧以促进氧化，氩气以抑制氧化或清洁干燥的空气(cda)以抑制水分以控制静由于充电到所述探头或nanotools和所述的作用，以提供真空处和围绕所述尖端和基板区域。本发明可还产生用于使用电电流与活性上的电子装置，在或靠近所述体本发明的装置。另外通过使用一种流体等的水中，某些油，和其它液体在结合与特定的尖端结构或者电放电加工能够被用于在所述尖端在所述尖端本身(在结合区与一所述工作件上形成结构)或在一个工作件下面所述尖端到形状，抛光和去除材料在非常小的刻度(10微米到1nm或更少)。所述流体处理结构包括气体通道(f101)形成在装置层(f102)。每个通道被输送通过一个凹槽(f105)，在虚线所示，形成在所述手柄中的所述体层(f103)的所述悬臂(f100)。因此在流体连通所述凹槽是与所述通道(f101)。作为可被所述的放大视图中看到，一个盖密封，或罩层(f104)可被提供到含有所述气体压力是可被开发在该尖端。 |
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