| 扫描探针显微镜 |
| JP2003130668 2003-5-8 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜具有一个重量减少的扫描探针单元连接到一个物镜旋转器的一光学显微镜。溶液 : 该扫描探针显微镜包括所述扫描探头单元160连接到所述物镜所扫描的光旋转器显微镜。所述扫描探头单元160具有一个悬臂164具有一探头162所述自由端上，一悬臂保持部168用于保持所述的悬臂164，一种探针扫描机构170用于扫描所述X-方向中的三-维，所述Y-方向和Z-方向相对于所述样品120表面通过所述探头162，和一个光检测器174用于检测一个光从光源发出的光束在所述扫描光学显微镜和通过所述的自由端反射该悬臂164。所述光电检测器174构成一个探针用于检测光学位移检测系统中所述位移Z-方向的所述探针162一起与该扫描光学显微镜中所述光源。 |
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