| 扫描机构和使用该相同的扫描探针显微镜 |
| JP2003130671 2003-5-8 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一扫描机构具有一高扫描速度的上限，它可以应对。溶液 : 该扫描机构100a的一个是配备有一固定支架101，XY-阶段109容纳在所述固定架101，和x-致动器102a和一个Y-其致动器102aB的两者被位于它们之间并分别沿延伸X-轴和Y-轴。该XY台109具有一可动部104可移动沿所述X-轴和Y-轴，一固定部分105位于围绕所述可动部104，一对弹性支撑部分10A的6a和106aC的两侧上设置所述可动部104沿X-轴和连接到所述可动部分104和所述固定部分105，一种一对弹性支撑部分106a的B和106aD位于所述可动部104的两侧上沿Y-轴和连接到所述可动部分104和所述固定部分105，和在一个侧沿所述的Z-轴所述可动部分104和四个弹性部10a7a和10a7b，以及作为107aC和107aD定位在一个侧的所述可动部分104和连接到所述可动部分104和所述固定部分105。 |
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