| 扫描探针显微镜的扫描机构 |
| JP2003131157 2003-5-9 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 要解决的问题 : 以提供所述一个扫描探针显微镜的扫描机构用于抑制产生的不需要的振动和具有小尺寸沿Z轴。溶液 : 该扫描机构10被提供有一用于移动一个扫描对象的z向扫描器1218，用于使样品沿Z轴移动，Z-扫描仪14沿Z轴和一XY移动扫描器16用于移动所述Z-扫描器12和该Z-扫描仪14沿X轴和Y轴垂直于所述Z轴和正交交叉。该Z-扫描器14具有一用于围绕所述Z-扫描器12的形状并被定位和对称到一中央所述的Z-轴扫描器12。该XY-扫描器16具有一可动部分，用于沿所述X和Y轴移动。该Z-扫描器12和该Z-扫描器14被保持通过该XY-扫描器所述的可动部16和延伸该XY-扫描器从所述的可动部16所述的相同侧上。 |
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