| 扫描仪系统，和使用该相同的扫描型探针显微镜 |
| JP2003133343 2003-5-12 发明申请 |
| 2004-11-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一紧凑的扫描器系统能够获取的XY位置信息不失真和精确的Z-位置信息，和一探针显微镜单元使用所述扫描仪系统。溶液 : 该扫描器系统被提供有一扫描器1具有一个级2可移动的三-维地，一光源20，一种测量反射镜24设置在该阶段2，以反映从所述光源的照明光，干涉条纹计数通过所述测量系统29用于检测所反射的光反射镜24和用于获取位移量的信息沿着所述级一个垂直的方向2，基于所述检测到的反射的光的相对相位变化，和一个角度检测由所述测量系统28用于检测所反射的光反射镜24和用于获取变化信息在所述测量的相对倾斜反射镜24，基于该检测反射的光。 |
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