| 自动聚焦显微镜 |
| JP2003115671 2003-4-21 发明申请 |
| 2004-11-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一紧凑和廉价的自动聚焦显微镜能够提供可靠的聚焦操作及抑制该损耗光量到安全准确的聚焦操作。溶液 : 所述的自动聚焦显微镜是构成，使得一个棱镜，用于后面的差分干涉5月27日被装上\/可拆卸地设置一物镜透镜10在一个微分干涉观测的光学路径。该显微镜具有一个偏振光束分离器4反射P偏振光分量，发送一S偏振的光部件和所述P偏振光分量反射的光由入射从一个激光光源1。然后，样品11是与所述从所述光发射的光照射源1和反射在所述偏振光束分束器4通过该棱镜27和所述物镜透镜10，和所述表面上所反射的光该样品11和返回通过所述的差分干涉棱镜27被转换成线性偏振光(S偏振光)通过一个λ-波板7，和所述光发射通过所述偏振分束器4是检测由一个二分光电检测器18和所述反射的光通过所述分束器4是截开的检测光检测器15，和聚焦是根据输出控制从所述光电检测器18和15。 |
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