| 滞后校正扫描电子显微镜的方法，和扫描电子显微镜 |
| JP2003116953 2003-4-22 发明申请 |
| 2004-11-18 |
| 要解决的问题 : 以执行简单的磁滞现象的校正与一小数量的次数当一种材料具有大coersive力被用于一个磁极的一对象的透镜。溶液 : 该方法是使用用于自动校正所述对象的透镜的滞后一种扫描电子显微镜通过使用软件。在所述的磁滞校正，该滞后校正是通过考虑简单地通过一小数量的执行次数频率一磁滞回路的依赖性和通过使所述磁场变化的速度激励磁场的强度靠近所述手动操作中的一个激励电流的变化速度。该方法包括 : 一步骤，用于增加所述励磁电流供给到所述物镜以一个预定的激励电流值高于在正常使用; 和一用于降低过程它从所述预定的励磁电流值到目标励磁电流值。所述降低过程中，所述所述励磁电流变化的速度被改变与多个步骤。 |
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