| 如何利用原子力显微镜和原子力显微镜进行原子力显微 |
| KR1020197022714 2018-1-11 发明授权 |
| 2023-9-12 |
| 本文件涉及一种原子力显微镜，该原子力显微镜包括探针、检测器、致动器和振动器，所述探针包括探针针尖，所述探针针尖被配置为感测设置在所述探针针尖附近的样品，所述检测器检测所述探针针尖的偏转，所述致动器耦合到所述探针并且被配置为在感测状态下以预定的力设定点移动所述探针，所述感测状态具有所述样品，所述振动器与所述样品通信以向所述样品提供振动，所述振动包括调制频率， 其中所述声学振动器被配置为在初始感测周期之后的调制周期中提供所述振动而不进行调制，并且其中在所述调制周期期间或之后将所述探针移动到所述样本上的连续样本位置，同时以非接触状态移动所述探针。 |
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