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扫描探针显微镜
US10828002 2004-4-20 发明申请
2004-11-18
本发明提供一种SPM,该SPM具有在用扫描器替换扫描器时,在控制器中自动设置扫描器特有的参数信息的功能,而不需要操作者的手动操作。 扫描探针显微镜包括用于表示扫描器的一部分中的扫描器上的信息的装置,以及用于解释该信息的装置和用于在控制器中基于安装扫描器的主体侧上的解释的信息来设置感兴趣的扫描器特有的参数信息的装置。
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