| 显示具有可充电体的样品的改进成像的电子显微镜 |
| US10779323 2004-2-13 发明申请 |
| 2004-11-18 |
| 电子显微镜(例如， 扫描电子显微镜， 公开了映射SEM)，其中将样品的充电量控制在观看图像所需的最小量和不能获得可观看图像的最大量之间， 并且使得图像具有低失真并且样品不被损坏。 多个辐照电子束，或单个辐照电子束的多个段被引导到样品表面。 所述照射光束(或段)由阴极透镜施加的延迟电压减速，并入射到样品表面上。 将每个照射束(或其段)的相应电流和入射能量独立地控制到预定关系，以便将预定量的电荷施加到样品的不同绝缘体区域。 |
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